高密度等离子体论文

最新发现与创新：我国集成电路核心装备研发取得重大突破第64-64页

关键词: 集成电路工厂制造装备研发高密度等离子体国家863计划离子注入机创新中芯国际公司

2006年第05期《中国高新科技》

日本推出有特殊视觉效果的仿毛皮制品第31-31页

关键词: 毛皮制品视觉效果推出日本人造毛皮处理技术高密度等离子体寅太阳加工金属光泽导电性能防紫外线金属材料加工技术触媒作用抗菌防臭真空环境电场作用防静电氧化钛素材靶标

2005年第06期《福建轻纺》

高密高温等离子体中类氢炭静电屏蔽势的求解第254-256页

关键词: 高温高密度等离子体类氢炭

2004年第B04期《原子与分子物理学报》

永磁电子回旋共振等离子体化学气相沉积系统第317-320页

关键词: 电子回旋共振等离子体化学气相沉积膜厚均匀性同轴表面波 ecr 氮化硅薄膜高密度等离子体 ftir光谱强磁场

2004年第04期《真空科学与技术学报》

哈尔滨市国际技术转移服务中心第387-387页

关键词: 服务中心技术转移哈尔滨市高密度等离子体等离子流发生器国际粉末材料表面改性

2017年第05期《技术与市场》

磁场与密度对等离子体柱中螺旋波及能量沉积影响的数值研究第1286-1294页

关键词: 螺旋波磁化等离子体能量沉积高密度等离子体

2016年第11期《真空科学与技术学报》

强激光在窄通道中传播的理论研究第1877-1881页

关键词: 超快光学强激光高密度等离子体窄等离子体预通道

2006年第12期《光学学报》

最新发现与创新：我国集成电路核心装备研发取得重大突破第64-64页

关键词: 集成电路工厂制造装备研发高密度等离子体国家863计划离子注入机创新中芯国际公司

2006年第05期《中国高新技术企业》

我国集成电路核心装备研发取得重大突破第16-16页

关键词: 集成电路制造制造装备研发高密度等离子体国家863计划离子注入机中芯国际公司北京市

2006年第06期《光学仪器》

我国集成电路制造用核心装备研制成功第45-45页

关键词: 集成电路制造装备研制高密度等离子体国家863计划离子注入机制造装备项目验收大角度

2006年第05期《功能材料信息》

中国集成电路核心装备研发取得重大突破第94-94页

关键词: 集成电路制造制造装备中国研发高密度等离子体离子注入机 863计划项目验收

2006年第11期《中国科技财富》

采用磁桶和同心等离子体源及材料源的等离子体淀积方法及设备第50-50页

关键词: 等离子体淀积等离子体源磁控溅射靶高密度等离子体设备料源涂敷材料等离子体密度

2006年第06期《表面技术》

国产主流集成电路核心设备首次实现批量销售第70-70页

关键词: 集成电路制造核心设备高密度等离子体国家863计划销售国产制造装备离子注入机

2006年第11期《电子工业专用设备》

中国集成电路核心装备研发取得重大突破第50-50页

关键词: 集成电路制造制造装备中国研发高密度等离子体离子注入机 863计划项目验收

2007年第01期《电子产品可靠性与环境试验》

基于IEP的高密度等离子体刻蚀过程终点检测技术第105-108页

关键词: iep 高密度等离子体刻蚀工艺终点检测

2006年第Z2期《红外与激光工程》

我国集成电路核心装备研发取得重大突破第142-142页

关键词: 集成电路制造制造装备研发高密度等离子体国家863计划离子注入机项目验收核心设备

2006年第12期《润滑与密封》

日本大阪大学激光工程研究所激光聚变研究第72-76页

关键词: 日本大阪大学科学研究所激光聚变工程高密度等离子体点火实验 fusion 10ps

2007年第11期《激光与光电子学进展》

上海光机所首次采用石英玻璃研制出高性能偏振分光器第4-4页

关键词: 偏振分光器石英玻璃光机上海激光全息技术高密度等离子体性能亚波长光栅

2007年第09期《激光与光电子学进展》

我国集成电路核心装备研发取得重大突破第8-8页

关键词: 集成电路制造装备高密度等离子体国家863计划研发离子注入机项目验收大角度

2006年第20期《中国科技信息》

我国集成电路核心装备研发与产业化取得重大突破第49-49页

关键词: 集成电路制造制造装备研发产业化高密度等离子体国家863计划离子注入机中芯国际公司

2006年第10期《中国科技产业》