关键词: wo3  薄膜  反应溅射  水解制氢  

2012年第05期 《广州化工》

关键词: 黑色金属  仿黑装饰膜  物理气相沉积  氦化铬膜层  反应溅射  镀膜  

2004年第04期 《金属加工·热加工》

关键词: sic薄膜  制备  半导体薄膜  射频溅射  反应溅射  

2004年第03期 《天津理工大学学报》

关键词: 反应溅射  微结构  力学性能  

2005年第09期 《材料工程》

关键词: 反应溅射  复合靶  低温沉积  纳米压痕  

2019年第08期

关键词: tio薄膜  alo薄膜  tin薄膜  aln薄膜  反应溅射  微结构  力学性能  

2005年第05期 《表面技术》

关键词: 反应溅射  氮化钽薄膜  氮分压  物相结构  热处理  电阻率  

2018年第08期 《电子元件与材料》

关键词: zn  o薄膜  反应溅射  晶体结构  溅射工艺  表面形貌  薄膜厚度  

2018年第06期 《电子元件与材料》

关键词: 复合靶材  反应溅射  azo薄膜  透明导电性  禁带宽度  品质因子  

2019年第03期 《人工晶体学报》

关键词: 无机非金属材料  sbox薄膜  反应溅射  xrd  dsc  结晶动力学  

2004年第01期 《材料研究学报》

关键词: 光学薄膜  激光器  全波段  人眼  研制  tem00模  激光反射膜  增益谱线  激光晶体  ld泵浦  合理分配  光谱特性  优化计算  优化设计  解析设计  反应溅射  泵浦功率  激光输出  谐振腔  膜系  反射率  计算机  全介质  

2005年第06期 《光电子激光》

关键词: culns2薄膜  太阳电池  

2004年第01期 《太阳能学报》

关键词: aln薄膜  择优取向  反应溅射  

2005年第06期 《人工晶体学报》

关键词: 热分解  反应溅射  临界温度  扩散系数  

2005年第06期 《人工晶体学报》

关键词: al2o3薄膜  基片温度  反应溅射  电阻率  

2005年第06期 《现代冶金》

关键词: 反应溅射  纳米晶复合薄膜  微结构  力学性能  

2005年第01期 《功能材料》

关键词: 光带隙  衬底温度  简并  氧化物薄膜  hall效应  能带  透射  迁移率  反应溅射  载流子浓度  

2005年第02期 《物理学报》

关键词: zno薄膜  双峰  掺杂  晶格失配  样品  光致发光谱  光致发光特性  衬底  反应溅射  发光机理  

2004年第11期 《光学学报》

关键词: 薄膜  力学性能  硬度  力学探针  相组织  eds  分压  反应溅射  微结构  

2005年第01期 《真空科学与技术学报》

关键词: 基片温度  zno薄膜  光学  离子束  电学性质  晶体结构  禁带宽度  反应溅射  薄膜电阻  c轴取向  

2004年第06期 《真空科学与技术学报》