关键词: 氢等离子体  离子特征  碰撞过程  电子回旋共振等离子体  

2017年第08期 《真空科学与技术学报》

关键词: 电子回旋共振放电  电子回旋共振等离子体  粒子模拟  蒙特卡罗  粒子模拟与蒙特卡罗相结合  

2006年第S1期 《电子科技大学学报》

关键词: 长城公司  研制开发  消毒设备  餐具  电子回旋共振等离子体  紫外线消毒  专利技术  线辐射源  有限公司  电子工程  

2006年第02期 《机械研究与应用》

关键词: 电子回旋共振等离子体  langmuir单静电探  等离子体分布特性  

2009年第03期 《大学物理实验》

关键词: 碳化硅  氢等离子体  电子回旋共振等离子体  反射式高能电子衍射  x射线光电子能谱  

2009年第03期 《固体电子学研究与进展》

关键词: 电子回旋共振等离子体  原子层沉积  表面形貌  氧化铝  沉积速率  

2012年第07期 《高电压技术》

关键词: 电子回旋共振等离子体  ecr中和器  电子束流  工质利用效率  电子损耗  氩气  氪气  引出电压  

2015年第09期 《高电压技术》

关键词: 刻蚀  机械抛光  电子回旋共振等离子体  化学气相沉积金刚石  

2015年第02期 《真空科学与技术学报》