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Co56Ta35B9非晶合金薄膜纳米压痕蠕变行为研究第39-43页
关键词: 非晶合金薄膜  衬底温度  蠕变  应变速率敏感指数  剪切转变体积  
2019年第06期 《上海金属》
Si(111)-(7×7)衬底上合成有序的Ⅳ族金属铅团簇阵列第246-249页
关键词: 合成  铅团簇  金属  纳米团簇  第一性原理  动力学过程  有序阵列  温度范围  衬底温度  能量计算  衍生结构  混合模型  原子结构  pb  作者  文章  表面  幻数  分解  
2005年第04期 《物理》
磁控溅射法生长ZnO薄膜的结构和表面形貌特性第58-62页
关键词: zno薄膜  衬底温度  衬底类型  结构  表面形貌  
一种高速生长硅基薄膜的低成本技术第60-61页
关键词: 硅基薄膜  生长速率  器件技术  成本  高速  化学气相反应  衬底温度  离子轰击  薄膜晶体管  光伏电池  
2005年第06期 《太阳能》
VHF—PECVD制备不同衬底温度微晶硅薄膜结构研究第920-922页
关键词: 甚高频等离子体增强化学气相沉积  微晶硅  衬底温度  
2005年第05期 《电子学报》
The Study of Deposition Parameters, Properties for PVD TixN and CrxN Coatings Using a Closed Field Unbalanced Magnetron Sputter Ion Plating System第841-846页
关键词: pvd  衬底温度  磁控管溅射  tixn涂层  crxn涂层  oem  
2004年第05B期 《材料热处理学报》
沉积温度和快速退火对磁控溅射法制备的AZO薄膜性能的影响第1-5页
关键词: azo薄膜  磁控溅射  衬底温度  真空退火  电学性能  
2017年第10期 《物理实验》
衬底温度对共溅射法制备TZO薄膜光电性能的影响第108-111页
关键词: tzo薄膜  共溅射  衬底温度  光电性能  
2019年第01期 《化工新型材料》
衬底温度对SiCN膜生长的影响第40-41页
关键词: sicn膜  衬底温度  红外吸收谱  xrd  
2005年第05期 《运城学院学报》
衬底温度对Fe-N薄膜结构、形貌及磁性能的影响第1838-1842页
关键词: 衬底温度  磁性能  
衬底温度对CuCrO2薄膜结构及光电性能的影响第255-261页
关键词: cucro2薄膜  衬底温度  结构  光电性能  
衬底温度对等离子喷涂熔滴扁平化的影响第35-38页
关键词: 熔滴  准晶  20cr  等离子喷涂  凝固  aisi304不锈钢  溅射  衬底温度  粒子  表面  
SnO2导电薄膜性能研究第32-34页
关键词: 导电性能  二氧化锡  薄膜  溅射  衬底温度  
2005年第05期 《表面技术》
薄膜光学 光学薄膜参数测试第52-53页
关键词: 衬底温度  光学常数谱  光学薄膜  结构特征  薄膜光学  消光系数  椭偏光谱技术  微晶硅  沉积速率  多层薄膜  
2005年第06期 《中国光学》
薄膜光学 薄膜光学理论与膜系设计第61-63页
关键词: 薄膜光学  离子束清洗  重点实验室  激光损伤  荧光光谱  衬底温度  富硅氮化硅  中科院  光学技术  微观结构  
2005年第04期 《中国光学》
薄膜光学 制膜技术与装置第63-65页
关键词: 原子力显微镜  薄膜光学  多层膜  沉积速率  表面形貌  多晶硅薄膜  类金刚石薄膜  等离子体  衬底温度  晶化  
2005年第04期 《中国光学》
衬底温度对共溅射制备AZO薄膜光电性能影响第784-788页
关键词: 共溅射  衬底温度  光电性能  蓝移  
2018年第05期 《压电与声光》
磁控溅射法制备InN薄膜的可控生长及表征第1123-1127页
关键词: inn薄膜  磁控溅射  压强  流量比  衬底温度  
2018年第06期 《人工晶体学报》
衬底温度和N_2流量比对SI基GaN薄膜的影响第1867-1870页
关键词: 磁控溅射  gan薄膜  衬底温度  表征  
2018年第09期 《当代化工》
衬底温度对HFCVD制备金刚石薄膜的影响第130-134页
关键词: 衬底温度  掺硼金刚石  电阻率  表面形貌  
2018年第02期 《微纳电子技术》