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高数值孔径光刻成像中双层底层抗反膜的优化第472-477页
关键词: 光学光刻  衬底反射率  高数值孔径  
2008年第03期 《光学学报》
高数值孔径光刻中衬底反射率的控制第730-736页
关键词: 薄膜光学  衬底反射率  底层抗反膜优化  高数值孔径光刻  
2011年第06期 《量子电子学报》
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