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铜辅助化学腐蚀条件对多孔硅的影响第1101-1107页
关键词: 纳米结构  表面减反  
2017年第10期 《光电子激光》
铜辅助单步化学刻蚀多晶硅第249-256页
关键词: 纳米结构  金属辅助化学刻蚀  铜催化  表面减反  多晶硅基底  
2014年第04期 《微纳电子技术》
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