作者：庞建伟; 闫鹏压电薄膜柔性铰链微定位平台柔度矩阵方法有限元分析
摘要：设计了一种基于压电薄膜驱动梁和柔性铰链结构的3维微定位平台,并且为了准确评估平台性能提出了一种理论建模分析方法.首先,根据力平衡条件下的欧拉-伯努利梁理论和压电本构方程,得到压电薄膜梁的输出模型;然后,根据柔度矩阵方法,推导得到微定位平台的整体柔度模型;最后,综合压电薄膜梁模型和平台柔度模型得到平台的整体输出模型.通过有限元仿真分析微定位平台的输出位移和转角,并与理论计算结果进行对比验证.结果显示,仅有1个驱动器作用时,输出位移和转角理论计算结果与有限元分析结果的相对误差分别为5.4%和5.5%;3个驱动器共同作用时,输出位移理论结果与有限元分析结果的相对误差为11.6%.
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