作者：张耀平; 张云洞; 凌宁; 许鸿残余应力薄膜有限元有限元分析计算结果有限元软件
摘要：利用有限元软件对薄膜残余应力进行了分析与计算,并与理论计算结果进行对比,说明所建立的模型是合理的.
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《激光与光电子学进展》（CN：31-1690/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《激光与光电子学进展》旨在关注科技发展热点，报道高新技术前沿，追踪科技研发动态，介绍科学探索历程；展示最新科技产品，汇萃时尚科技讯息。
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