作者:Ed; Sperling; 电姬集成电路制造晶圆厂设备
摘要:200 mm需求的爆炸式发展让生产商开始疯狂搜寻可以在更古老的工艺节点使用的二手半导体生产制造设备。问题是二手设备也不够用,而且并非所有的新或扩展的200 mm晶圆厂都能够负担翻新或购买新设备的费用。未来几年,旧节点将在许多设备中发挥更大的作用。这一点基本上已经是普遍的共识了。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社
《集成电路应用》(CN:31-1325/TN)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
部级期刊
人气 20247 评论 17
省级期刊
人气 10074 评论 13