新材料产业中国科学院半导体研究所可持续发展战略示范工程建设电子材料集成电路产业基地
摘要：中国科学院半导体研究所王占国院士日前在第八届科博会中国可持续发展战略论坛上透露，新材料产业“十一五”规划将重点发展17类新材料。首先是硅基微纳电子材料。我国将发展2～3个满足100～45纳米线宽集成电路需求的8英寸、12英寸硅单晶、芯片和外延片的高技术产业基地，形成年产3000吨多晶硅的生产能力，以及进行6～8英寸SOI、SiGe／Si和应变硅材料示范工程建设。
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