作者：晋正茂; 王德夫; 武振国多晶硅精馏工序精制三氯氢硅能力提升
摘要：在改良西门子法多晶硅生产中,精制三氯氢硅是主要的中间产品,精制三氯氢硅质量对多晶硅的质量有很大的影响,精制三氯氢硅来源于精馏工序。本文首先对现有的多晶硅装置精馏工序工艺流程和主要功能进行了简要的介绍,然后重点介绍了已开展精馏工序的工艺优化工作以及后期可进一步开展的优化工作。
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