作者：王肖伊; 王琪; 李赟玺; 杨亚非激光图像传感器光学微机电系统振动分析机器人和机器控制
摘要：随着MOEMS扫描镜的发展，其较高的谐振频率及Ic兼容的低成本等优点在激光3D图像传感器中应用前景广阔，研究外参数激励MOEMS扫描镜动力学特性与控制问题具有重要的理论和应用价值。从欧拉方程出发，建立静电驱动MOEMS扭转动力学模型，利用四阶Runge．Kutta算法仿真表明：在外参数指令信号激励下，MOEMS扫描镜扭转状态经历阻尼运动、周期、倍周期和混沌等动力学过程，其中周期运动存在着一个较大的参数控制范围。根据Lyapunov稳定性理论，设计了一种连续混沌系统追踪控制器，使受控的MOEMS扫描镜扭转状态收敛于任意期望的指令信号。实验表明，李萨如图指令信号适用于激光3D图像传感器；几何矢量指令信号适用于激光3D打印系统，理论分析与实验相一致。
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