作者：陆益敏; 郭延龙; 黄国俊; 黎伟; 万强; 唐...脉冲激光沉积多层类金刚石膜锗缓冲层低内应力
摘要：为解决类金刚石膜内应力极大的问题，利用很薄的岛状结构锗层与较厚的类金刚石层循环，设计并制备了具有低内应力的多层类金刚石膜。其中，类金刚石层为主要功能膜层，起到硬质保护和光学增透的作用；而锗层作为缓冲层，起到缓解纯类金刚石膜内应力过大的问题，同时由于锗层很薄，对整个膜层的机械性能和红外特性的影响很小。测试表明，制备的多层类金刚石膜内应力为2.14 GPa，比纯类金刚石膜降低了39%，通过了GJB2485-95《光学膜层通用规范》中的重摩擦测试；同时，其纳米硬度仍保持在47 GPa的高水平。该多层类金刚石膜可以作为实际应用的红外窗口保护膜。
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