作者：王若秋; 张志宇; 薛栋林; 张学军大口径菲涅尔衍射元件聚合物薄膜聚酰亚胺衍射效率
摘要：为满足空间成像领域对大口径、轻量化、高衍射效率光学衍射元件的需求，研究了薄膜衍射元件微结构设计及制作工艺。应用Zemax光学软件设计了320ITlIn口径，刖100的四台阶薄膜菲涅尔衍射元件，并利用Mauab软件将连续位相结构转化为离散化台阶分布。研究了薄膜菲涅尔衍射元件的制作技术，选用透明聚酰亚胺薄膜作为基底材料，以石英玻璃作为复制模板，通过多次旋涂的方式实现了厚度为20um的衍射薄膜制作。应用Solidworks软件设计并加工薄膜支撑装置。测量复制基板及薄膜对应区域的微结构，实验结果表明条纹线宽转移偏差小于1．3％，台阶深度偏差小于8．6％。搭建光路测试在波长632．8Bin处衍射效率平均值为71．5％，达到了理论值的88％。实验结果表明，制作的薄膜重量轻，复制精度高，并且具有高衍射效率，满足空间望远镜的应用要求。
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