作者：曾晓晓; 才来中; 吴婷石英晶体微天平沉积偏滤器等离子体与材料的相互作用
摘要：在HL-2A装置上采用石英晶体微天平（QCM）测量碳元素及其化合物的沉积质量,从测量的数据可知,每次等离子体放电后QCM的沉积量都会有细微变化,每次放电测得的沉积质量约为0.1~10μg。沉积量的变化与沉积物质再腐蚀或者溅射有关。根据一天的测量结果,可以计算得出HL-2A装置偏滤器区域平均每次放电（非H模放电）的沉积厚度约为10nm。
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