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CVD金刚石膜在LED散热系统的研究现状及展望

作者:高铭; 祝恩光; 张焱壵; 陶先哲; 任瑛化学气相沉积法金刚石膜led散热片

摘要:金刚石由于其具有高的热导率,在自然界被认为是最好的热导材料,因此用化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜是微电子器件的理想散热材料。本文主要阐述了四种不同的以金刚石膜为基础的散热系统在LED领域的应用现状及发展趋势,并对未来的以CVD金刚石膜为基础的LED散热片进行了前景预测。

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功能材料与器件学报

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