沈阳公司老工业基地振兴ic装备业集成电路产业装备产业产业结构调整ic产业
摘要：“十一五“期间．沈阳市政府明确将集成电路产业（即IC产业）作为重点发展产业．并决定重点建设沈阳IC装备基地。IC装备业可以和传统装备产业充分融合．形成互动，将为现代工业制造业向高精密．细微化发展奠定技术基础。发展IC装备业，将直接促进沈阳传统装备产业结构调整和产品升级，对实现沈阳老工业基地振兴和跨越式发展．具有重大的战略意义。机遇面前，沈阳芯源公司在前三年引智工作取得丰硕成果的基础上．开发了“12英寸BUMPING封装技术旋转湿法刻蚀设备”项目。
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