作者：魏仑; 李一睿; 李戈扬纳米多层膜微结构特征sio2tib2抗氧化性能氧化物弹性模量纳米量级超硬效应
摘要：两种材料以纳米量级厚度交替沉积形成的纳米多层膜常伴有硬度和弹性模量异常升高的超硬效应.据此,Sproul [1]等提出采用两种氧化物交替沉积制备同时具有超硬效应和优良抗氧化性能的纳米多层膜.
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《电子显微学报》（CN：11-2295/TN）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。
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