作者：焦新泉; 杨文豪; 储成群; 李治华; 李锐锐非接触测量相相对位移psd面光源
摘要：为了测量只能在侧壁安装检测装置的腔体间相对位移,设计了基于面光源的光位移传感器(PSD)位移测量系统。系统将PSD两路电信号的I-V转换、反向放大等信号调理在一片AD824处理,并采用对射式的检测方法,减小了系统体积,简化了结构设计。介绍了位移测量实现过程,并设计系统的标定工装,通过数据后处理方法减小测量误差,提高测量精度。实验结果表明,系统在30 mm量程范围内线性度好,可重复性高,工作在10 kHz不失真,可用于腔体振动等测量,具有很高的实用性。
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