作者：李伟俊; 李小华; 蔡忆昔; 施蕴曦; 徐辉低温等离子体o3no2发射光谱能量密度
摘要：对自行设计的NTP发生器进行了性能试验,研究了电学参量、气源对活性物质生成及发射光谱的影响。结果表明,活性物质主要为O3和NO2,且观测到明显的N2第2正带系谱峰。随着放电电压峰峰值或放电频率的升高,能量密度增大,O3和NO2浓度先增加后减小,N2第2正带系谱峰显著,光谱强度随之增大。随着气体流量增大,能量密度减小,O3和NO2浓度及光谱强度均呈先增后减的趋势。随着气源中O2含量增加,O3和NO2浓度增大,当O2含量为80%时,O3和NO2浓度分别超过20 000×10（-6）和10 000×10（-6）;光谱强度则逐渐减弱。
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