作者：高金海; 李桢; 张武勤; 张兵临微米金刚石薄膜制备场致发射电子微波等离子体化学气相沉积
摘要：通过改变处理衬底表面的方法,制备出不同的微米金刚石薄膜。具体的方法是利用磁控溅射在陶瓷衬底上面镀上一层厚金属钛,对金属钛层进行不同的表面处理后,放在微波等离子体化学气相沉积腔中制备微米金刚石薄膜。对不同的薄膜用二极管型结构测试了它们的场致发射电子的性能,良好的表面处理能达到在电场2.1 V/μm下,9.2 m A/cm~2优秀的发射效果。并对发射机理和场发射特性进行了深入的研究。
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