作者：张照云; 唐彬; 彭勃; 陈颖慧; 熊壮; 苏伟微电子机械系统微加速度计牺牲层刻蚀金属电极保护
摘要：为了在牺牲层工艺中保护金属电极不被腐蚀,提出了一种利用铝层保护金属电极的方法。在试验中采用了两种铝保护层厚度300 nm和1μm,在两种腐蚀液体4NH4F∶1HF∶2甘油和1HAC∶1NH4F中进行了试验,通过试验表明,铝金属层在两种腐蚀液体中都能够有效保护金属电极,延长牺牲层的腐蚀时间。最后,通过SOI微加速度计加工工艺进一步验证了该方法的有效性。
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