作者：张毅; 孙以材; 潘国峰日本丰田汽车公司市场价格发展能源管理家用电器集成化tio2zro2开发成功
摘要：氧是地球上最丰富的元素之一，与人类活动密切相关，很多领域涉及到氧气测量，如环境监测、有氧医疗、家用电器、生物工程、工业过程、能源管理、安全监测和科学研究等，最早的氧敏传感器是ZrO2电解质氧敏传感器，在1977年由日本丰田汽车公司应用于汽车尾气中的有害气俸监测，但由于其存在着烧结温度高、结构复杂、贵金属催化剂易失效，价格昂贵等缺陷，限制了它的发展。以TiO2为代表的半导体型氧敏传感器，以灵敏度高、结构简单、价廉、易集成化等优点，逐渐占据了氧敏传感器的市场．1982年TiO2厚膜型氧敏传感器首先由日本特种陶业公司开发成功，并部分替代ZrO2电解质氧敞传感器，应用于汽车尾气的监测。
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