作者:满仲鹏 陈智刚 岳连永mems硅微加速度计加速度仿真
摘要:应用ANSYS软件对MEMS器件——八悬臂梁硅微加速度计的横向灵敏度进行了仿真。仿真时分别在此器件的X轴、Y轴、Z轴单独加一个加速度,分析另外两个轴的输出,便可以得出其横向灵敏度。依据仿真结果,可先求出各个输出轴对应的梁的应力,即可算出其电阻的变化量,从而计算出输出轴的输出电压。
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