作者：邰清安; 柳琪; 国振兴; 王进; 马大衍; 宋...真空阴极电弧离子镀纳米硬质涂层晶粒细化耐磨性
摘要：采用真空阴极电弧离子镀技术在V-4E工具钢表面制备了Cr Al N、Cr Al Si N两种多元纳米硬质涂层。采用划痕仪、工具显微镜、显微硬度计、球磨仪、SEM、EDS、XRD、TEM及XPS分析了涂层的力学性能、摩擦学性能以及微结构。结果表明:与Cr Al N涂层相比,Cr Al Si N涂层中Si的掺杂能使晶粒细化,提高涂层硬度和耐磨性、优化膜基结合水平;Cr Al Si N涂层中的立方相Cr N由(111)择优取向向(200)择优取向转变,晶粒尺寸明显减小,相结构为非晶态Si3N4包覆纳米晶复合混合框架结构。
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