作者：盛澄成; 徐阳; 魏取福; 乔辉磁控溅射屏蔽效能抗氧化性能
摘要：本文在纺织纤维基材表面采用二次溅射沉积法制备了Cu／Al2O3复合薄膜，利用扫描电镜（SEM）、X射线能谱仪（EDX）和矢量网络分析仪对室温环境下存放3600h的复合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能进行了测试，并与相同工艺条件下制备的纯Cu薄膜进行了对比分析。结果表明：与纯Cu薄膜结构的不稳定性相比，由于复合薄膜表层Al2O3薄膜的结构稳定性和致密性，Cu／Al2O3复合薄膜在保证高屏蔽性能的前提下，具有整体结构的稳定性，表现出了良好的抗氧化性能。
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