作者：赵明杰; 门传玲; 曹军; 张自元悬浮石墨烯杂质少外界干扰小本征特性微电子
摘要：作为一种新型二维材料，石墨烯在电学、光学、传热学及力学性能等方面均表现出极其优异的特性，对石墨烯的研究也得到众多研究；手的关注。同时，拥有桥状悬浮结构的悬浮石墨烯（Suspended graphene）以其杂质少、受外界干扰小等优点使得石墨烯的本征特性得到最大化施展。在研究石墨烯的电子迁移率、传热性、力学性能等方面，悬浮石墨烯有着独特的优势，并且对提升微电子器件的性能作用显著。综述了悬浮石墨烯的制备与性质研究及其在微电子领域的应用进展，并展望了悬浮石墨烯的应用前景。
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