作者：陈燎; 唐兴伟; 周涵; 范同祥直写技术微电子制造电极
摘要：直写技术是一种新型微加工技术，其加工过程不需模板并可在亚微米至厘米范围实现材料加工成型。墨水直写、喷墨打印和激光直写作为最常用的直写技术，具有强大的二维、三维成型能力和优异的成型精度，可实现金属、陶瓷、聚合物、水凝胶等复杂构型的程序化构筑，被广泛应用于微电子、组织工程、微流控等领域。阐述了这3种直写技术的构型原理和材料选择，重点介绍了其在微电子器件制造中的应用，讨论了当前研究的难点和热点问题，并对其未来发展趋势进行了展望。
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