作者：李艳丽; 许壮; 李辉; 孔祥东; 韩立; 张雪...电子束退火zno薄膜
摘要：利用溶胶-凝胶法制备出ZnO的凝胶前驱膜,用电子束退火取代传统炉子退火,对前驱膜进行后处理,退火时固定电子束加速电压为10kV,退火时间为5min,调节聚焦束流和电子束束流,使退火温度在600~900℃范围内变化。扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）和压电力显微镜（PFM）的测试结果表明,运用电子束退火法可制备出晶粒尺寸小于30nm、沿（002）择优取向、具有压电效应的六方ZnO薄膜,且随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐变大,薄膜的结晶性和取向变好,压电效应越来越明显。
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