作者：魏磊; 杨胡坤; 刘耀; 杨敬源电泳沉积comsol仿真流场均匀性沉积电压
摘要：沉积电压是电泳沉积工艺的重要参数之一。为研究其对电泳沉积成膜均匀性的影响，对带电粒子的电泳过程进行理论分析，并结合COMSOL多物理场接口，得出电泳过程的仿真图。结果显示：施加电压增大，流场流速增加，但电极间形成的流场相对均匀，膜层的均匀性也较好。沉积电压不高于100V时，极间形成的均匀流场并不影响粒子均匀沉积；电压高于100V时，极间形成的明显不均匀流场会影响粒子的运动与沉积，从而降低了膜层的均匀性。
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